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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明的例示性的实施方式的温度调节方法包括：第1步骤，其调节载置被处理体的载置台的温度，载置台被划分为多个区域，具有多个温度检测器，多个区域沿载置台的载置面设定，多个温度检测器的每个温度检测器分别配置在多个区域的每个区域，载置台具有进行利用致冷剂的热交换的多个热交换室，致冷剂通过冷却装置进行循环，多个热交换室的每个热交换室分别配置在多个区域的每个区域；第2步骤，其调节致冷剂的压力以使得载置台的温度达到第1温度范围；和第3步骤，其在第2步骤之后，单独地调节对多个热交换室的每个热交换室供给的致冷剂的流量以使得多个温度检测器的所有检测温度达到第1温度范围。
主权项：1.一种温度调节方法，其特征在于：包括第1步骤，其调节载置被处理体的载置台的温度，所述载置台被划分为多个区域，具有多个温度检测器，多个所述区域沿所述载置台的载置面设定，多个所述温度检测器的每个温度检测器分别配置在多个所述区域的每个区域，所述载置台具有进行利用致冷剂的热交换的多个热交换室，所述致冷剂通过冷却装置进行循环，多个所述热交换室的每个热交换室分别配置在多个所述区域的每个区域，所述第1步骤包括：第2步骤，其调节所述致冷剂的压力以使得所述载置台的温度达到第1温度范围，并且基于由所述温度检测器检测的检测温度通过调节阀的开度来进行所述致冷剂的干燥度的调节，所述阀能够控制气体状态的致冷剂的供给量；和第3步骤，其在所述第2步骤之后，单独地调节对多个所述热交换室的每个热交换室供给的所述致冷剂的流量以使得多个所述温度检测器的所有检测温度达到所述第1温度范围。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 温度调节方法
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