买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：之江实验室

摘要：本发明公布了一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器及其制备方法。柔性传感层表面上设有低模量微结构、高模量微结构，低模量微结构尺寸大于高模量微结构尺寸，且高模量微结构的模量高于低模量微结构；电极层布置在柔性膜层的内表面且和柔性传感层表面接触，电极层和柔性传感层整体被柔性膜层和柔性封装层封装在一个相对封闭的空间中。本发明使压力传感器具有较好的柔性，便于贴附在复杂表面使用，大大拓宽传感器的量程，克服压力传感器高灵敏度与宽量程难以兼得的问题，可有效拓宽应用范围。

主权项：1.一种具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器，其特征在于：包含柔性膜层（1）、电极层（2）、柔性传感层（3）和柔性封装层（5），所述的柔性传感层（3）表面上设有低模量微结构（31）、高模量微结构（32），低模量微结构（31）尺寸大于高模量微结构（32）尺寸，且高模量微结构（32）的模量高于低模量微结构（31）；电极层（2）布置在柔性膜层（1）的内表面且和柔性传感层（3）表面接触，电极层（2）和柔性传感层（3）整体一起被柔性膜层（1）和柔性封装层（5）封装在一个相对封闭的空间中；所述柔性压力传感器按照以下方式制备而成：S1、选用光敏基团修饰的聚二甲基硅氧烷PDMS作为前驱体，利用模板法制备具有两种不同尺寸大小微结构的柔性膜，对柔性膜进行加热预固化，获得微结构化的柔性膜；S2、借助掩膜板对微结构化的柔性膜进行选择性紫外交联，使得其中两种不同尺寸大小微结构具有模量梯度分布；S3、在所得柔性膜的两种不同尺寸大小微结构表面涂覆导电涂层（33），得到柔性传感层（3）；S4、在柔性膜层上涂覆电极层（2），与柔性传感层（3）构成多层结构，其中电极层（2）和柔性传感层（3）中的导电涂层（33）表面均连接导线（401、402）引出，并与外部电路相连；S5、借助柔性封装层（5）将柔性传感层（3）、电极层（2）和导线（401、402）包覆在内部，并与柔性膜层（1）黏附在一起得到所述压力传感器；所述低模量微结构（31）、高模量微结构（32）在同一水平面上并排分布；所述的柔性传感层（3）包括基底微结构和基底微结构上的低模量微结构（31）、高模量微结构（32），基底微结构和电极层（2）之间间隔布置，低模量微结构（31）、高模量微结构（32）位于基底微结构和电极层（2）之间的间隔中；所述的柔性封装层（5）内形成空腔，将柔性传感层（3）置于在空腔内部，柔性封装层（5）的空腔开口端面与柔性膜层（1）黏附在一起；所述柔性传感层（3）置于空腔内后的上面紧贴布置电极层（2），电极层（2）上面紧贴布置柔性膜层（1）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 之江实验室 具有模量梯度微结构的宽量程柔性压力传感器及制备方法