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申请/专利权人：山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种红外探测器阵列及其制备方法，其中，该红外探测器阵列包括：读出电路基板；衬底层包括多个衬底区域，衬底区域阵列设置于读出电路基板上；多个红外探测器单元包括：第一吸收层，位于衬底区域背离读出电路基板的一侧，与衬底区域接触，第一吸收层具有第一掺杂类型；中间层，位于第一吸收层背离衬底区域的一侧，中间层具有第二掺杂类型；第二吸收层位于中间层背离第一吸收层的一侧，第二吸收层具有第一掺杂类型；第一导电层贯穿第一吸收层和衬底区域，第一导电层分别与中间层和读出电路基板电连接。解决了红外探测器单元中的中间层的电极在红外探测器的侧壁上引出工艺难度大问题，进而达到了提高红外探测器阵列稳定性的效果。
主权项：1.一种红外探测器阵列，其特征在于，包括：读出电路基板；衬底层，包括多个衬底区域，所述衬底区域阵列设置于所述读出电路基板上；多个红外探测器单元，位于所述衬底区域背离所述读出电路基板的一侧，所述衬底区域和所述红外探测器单元一一对应，所述红外探测器单元包括：第一吸收层，位于所述衬底区域背离所述读出电路基板的一侧，且与所述衬底区域接触，所述第一吸收层具有第一掺杂类型；中间层，位于所述第一吸收层背离所述衬底区域的一侧，所述中间层具有第二掺杂类型；第二吸收层，位于所述中间层背离所述第一吸收层的一侧，所述第二吸收层具有所述第一掺杂类型；第一导电层，贯穿所述第一吸收层和所述衬底区域，所述第一导电层分别与所述中间层和所述读出电路基板电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司 红外探测器阵列及其制备方法
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