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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：本申请涉及具有多种模式的虚拟检验系统。一种系统包含一或多个计算机子系统，其经配置以识别样品上由检验系统用第一模式检测到但用一或多种其它模式未检测到的第一缺陷。所述计算机子系统还经配置以从存储媒体获取在对应于所述第一缺陷的所述样品上的位置处用所述一或多种其它模式产生的一或多个图像。另外，所述计算机子系统经配置以确定所述经获取一或多个图像的一或多个特性，且基于所述经获取一或多个图像的所述一或多个特性确定所述第一缺陷的一或多个特性。
主权项：1.一种经配置以检测样品上的缺陷的系统，其包括：存储媒体，其经配置以存储由检验系统产生的样品的图像，其中所述检验系统经配置以用能量扫描遍及所述样品的物理对象同时检测来自所述样品的能量，由此产生所述样品的所述图像，且其中所述检验系统经配置以用多种模式执行所述扫描及所述检测；及一或多个计算机子系统，其经配置以：从所述存储媒体获取在所述样品上的位置处用所述多种模式中的两者或更多者产生的两个或更多个图像；及基于经获取的所述两个或更多个图像来确定所述位置处是否存在缺陷；其中所述一或多个计算机子系统进一步经配置以：识别用所述多种模式中的第一者在所述样品上检测到但用所述多种模式中的一或多种其它模式在所述样品上未检测到的所述缺陷中的第一者；从所述存储媒体获取在对应于所述缺陷中的所述第一者的所述样品上的位置处用所述多种模式中的所述一或多种其它模式产生的一或多个图像；确定经获取的所述一或多个图像的一或多个特性；及基于经获取的所述一或多个图像的所述一或多个特性来确定所述缺陷中的所述第一者的一或多个特性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 具有多种模式的虚拟检验系统
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