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表面保护膜及带表面保护膜的光学构件 

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申请/专利权人:日东电工株式会社

摘要:本发明提供即使在贴合于保护对象的状态下供于异物检查及气泡检查也能够实现对保护对象的准确检查的表面保护膜。本发明的实施方式的表面保护膜具备基材、和层叠于基材的粘接层。粘接层的与基材相反侧的表面的最大谷深Sv的绝对值为500nm以下,对基材进行显微镜观察时,在100μm×100μm的观察区域中,最大费雷特直径为10μm以上的缺陷数少于3个。

主权项:1.一种表面保护膜,其具备:基材、和层叠于所述基材的粘接层,所述粘接层的与所述基材相反侧的表面的最大谷深Sv的绝对值为500nm以下,对所述基材进行显微镜观察时,在100μm×100μm的观察区域中,最大费雷特直径为10μm以上的缺陷数少于3个。

全文数据:

权利要求:

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