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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明公开了一种紫外灯管的补充结构和一种紫外灯室。紫外灯管的补充结构包括：补充部，位于灯管本体的两侧的尾端，用以提供补充紫外光；以及限位部，设于所述补充部的尾端，用于可拆卸地卡接固定所述灯管本体。通过上述紫外灯管的补充结构，能够增强紫外灯管的边缘光强，从而提升紫外灯管的整体光照均匀性，有利于提升工艺效果的均匀性。
主权项：1.一种紫外灯管的补充结构，其特征在于，包括：补充部，位于灯管本体的两侧的尾端，用以提供补充紫外光；以及限位部，设于所述补充部的尾端，用于可拆卸地卡接固定所述灯管本体。
全文数据：
权利要求：
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