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申请/专利权人：上海功顶半导体有限公司
摘要：本发明涉及半导体搬运技术领域，公开了一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，包括安装块。本发明通过启动机械手带动抓取组件进行移动，使其移动至安装块的一侧，并与移动组件的一侧相接触，推动移动组件进行移动，带动传动组件转动，传动组件带动连接组件进行移动，连接组件带动拨动组件进行移动，拨动组件带动翻转组件进行翻转，使其与安装块的顶端呈垂直状态，然后在抓取组件的持续移动下，使其外表面插入翻转组件的内部，进而完成抓取，通过机械手带动其移动至烘箱的内部，该基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构能够在高温环境下正常工作，进而烘烤完成后，能够快速将其取出，进而提高了对晶圆的烘烤效率。
主权项：1.一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构，包括安装块2，所述安装块2固定安装在金属料盒1的顶端上，其特征在于；所述安装块2的内部设置有移动组件3，所述移动组件3的表面啮合设置有传动组件4，所述安装块2的内部设置有复位组件5，所述复位组件5的外表面滑动设置有连接组件6，所述连接组件6的表面与传动组件4的表面相啮合，所述连接组件6的内部设置有拨动组件7，所述安装块2的顶端固定连接有翻转组件8，所述翻转组件8的内部与拨动组件7的外表面滑动设置，所述金属料盒1的上侧设置有抓取组件9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海功顶半导体有限公司 一种基于自动物料搬送系统的金属料盒抓取机构
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