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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明提供了一种集成温控模块及其控制方法、薄膜沉积设备，以及存储介质。所述集成温控模块包括：第一进口，用于获取低温流体；第二进口，用于获取高温流体；多个出口，连接薄膜沉积设备的多个模块；多根内部管道，其第一端连接对应的出口，而其第二端向所述集成温控模块的进口侧延伸；多级执行器，分别包括多个管道调节单元，并经由所述多个管道调节单元分别连接各所述内部管道；以及控制器，连接各级所述执行器，并被配置用于控制所述多级执行器来进行所述低温流体和所述高温流体的定量混合，并经由所述对应出口向所述模块提供所述目标温度和所述目标流量的温控流体。
主权项：1.一种集成温控模块，其特征在于，包括：第一进口，设于所述集成温控模块的第一侧，用于获取低温流体；第二进口，设于所述集成温控模块的第一侧，用于获取高温流体；多个出口，设于所述集成温控模块的第二侧，并连接薄膜沉积设备的多个模块；多根内部管道，其第一端连接对应的出口，而其第二端向所述集成温控模块的第一侧延伸；多级执行器，分别包括多个管道调节单元，并经由所述多个管道调节单元分别连接各所述内部管道；以及控制器，连接各级所述执行器，并被配置为：获取所述薄膜沉积设备中至少一个模块所需温控流体的目标温度和目标流量；根据所述温控流体的目标温度和目标流量，确定对应出口所需的低温流体流量和高温流体流量；以及根据所述对应出口所需的低温流体流量和高温流体流量，开启各级所述执行器连接对应的各所述内部管道的对应管道调节单元，以进行所述低温流体和所述高温流体的定量混合，并经由所述对应出口向所述模块提供所述目标温度和所述目标流量的温控流体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 集成温控模块及其控制方法、薄膜沉积设备
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