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申请/专利权人：株式会社基恩士
摘要：本发明涉及一种流量传感器。可以在减轻引入时的用户的负担的同时进行对气动装置的迅速且准确的诊断。该流量传感器包括：流量测量元件，用于测量管道中的工作气体的流量；压力测量元件，用于测量管道中的工作气体的压力；以及评估单元，用于基于流量测量元件所测量的流量和压力测量元件所测量的压力的组合来确定用于指示气动装置的操作的特征量，并且基于所确定的特征量来评估气动装置的操作。
主权项：1.一种流量传感器，包括：流量测量元件，其被配置为测量连接到气动装置并形成工作气体的流路的管道中的工作气体的流量；压力测量元件，其被配置为测量所述管道中的工作气体的压力；以及评估单元，用于基于所述流量测量元件所测量的流量和所述压力测量元件所测量的压力的组合来确定用于指示所述气动装置的操作的特征量，并且基于所述特征量来评估所述管道所连接到的气动装置的操作。
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