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一种厚度及双侧面形同步检测系统及方法 

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申请/专利权人:合肥合视科达智能科技有限公司

摘要:本发明公开了一种厚度及双侧面形同步检测系统及方法,属于光学测量技术领域,包括光源系统、偏转反射系统、相机采集系统与处理系统,偏转反射系统包括分解单元和集成单元,该系统通过分解单元将光信号分投至待测物体上下表面,再由集成单元汇聚反射光为合成信号,由相机捕获生成图像。处理系统分析图像,精准获取物体的厚度及双侧面形数据。本发明融合测厚与面形检测功能,仅用一套设备即完成两项独立测量任务,大幅削减了设备运作与购置成本。

主权项:1.一种厚度及双侧面形同步检测系统,其特征在于,包括:光源系统、偏转反射系统、相机采集系统、处理系统;所述光源系统用于提供光信号;所述偏转反射系统包括分解单元和集成单元,所述分解单元用于将所述光信号分解成两束子光信号分别投射在待测物体的上下表面,所述集成单元用于将所述待测物体的上下表面分别反射的子光信号集成为一束合成光信号并输出给所述相机采集系统;所述相机采集系统用于采集集成单元输出的合成光信号并生成图像数据;所述处理系统用于对所述图像数据进行分析,获取待测物体的厚度及面形数据。

全文数据:

权利要求:

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