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申请/专利权人:拉普拉斯新能源科技股份有限公司
摘要:本申请提供了一种炉门调节机构、炉门机构以及加工设备,涉及半导体或光伏材料加工领域,解决了炉门调节灵活性差的技术问题。炉门调节机构包括:支撑架组件;至少两根调节杆,至少两根调节杆在与竖直平面交叉的平面上间隔设置,每一调节杆能够沿调节杆的长度方向,靠近或远离支撑架组件,调节杆远离支撑架组件的端部与炉门可转动连接;锁紧组件,用于锁紧支撑架组件与调节杆。通过沿调节杆的长度方向,调节一个或多个调节杆靠近或远离支撑架组件,在炉门竖直放置的情况下,可以调节炉门绕竖直轴线转动的角度,从而可以灵活调节炉门的姿态,使炉门与反应炉的炉口能够紧密贴合,提升了反应炉的密封性,从而可以提升工艺质量。
主权项:1.一种炉门调节机构,其特征在于,连接炉门和炉门承载机构,被配置为调节所述炉门的位置;其中,所述炉门调节机构包括:支撑架组件,与所述炉门承载机构连接;至少两根调节杆,至少两根所述调节杆在与竖直平面交叉的平面上间隔设置,每一所述调节杆能够沿所述调节杆的长度方向,靠近或远离所述支撑架组件,所述调节杆远离所述支撑架组件的端部与所述炉门可转动连接;锁紧组件,与所述支撑架组件和所述调节杆可拆卸连接,所述锁紧组件用于锁紧所述支撑架组件与所述调节杆,以固定所述支撑架组件与所述调节杆之间的相对位置。
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权利要求:
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