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申请/专利权人:株式会社村田制作所
摘要:公开了谐振器器件、滤波器器件和制造方法。谐振器器件包括基板和具有平行的正面和背面的单晶压电板。一声布拉格反射器,夹在基板的表面和单晶压电板的背面之间。一叉指换能器IDT,在正面上形成。IDT被配置为响应于施加到IDT的射频信号来激励压电板中的剪切声波。
主权项:1.一种横向激励的体声波器件,包括:基板;压电层,附接到所述基板,其中所述压电层的厚度大于或等于200纳米且小于或等于1000纳米;声反射器,在所述基板和所述压电层之间;以及叉指换能器IDT,在所述压电层上,其中所述IDT被配置为横向激励体声波。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 株式会社村田制作所 固态装配型横向激励的薄膜体声波谐振器
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