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申请/专利权人：ICT半导体集成电路测试有限公司
摘要：描述了用于带电粒子束装置的带电粒子光学器件，该带电粒子束装置具有带电粒子束以及带电粒子束装置的射束传播方向。带电粒子光学器件包括聚焦透镜。聚焦透镜包括：具有第一孔径的第一电极；具有第二孔径的第二电极，该第二电极至少在垂直于射束传播方向的第一方向上可机械地移动；以及致动器，该致动器耦合至第二电极，以至少在第一方向上移动第二电极，从而进行第二孔径相对于第一孔径的位移。带电粒子光学器件进一步包括：偏转系统，该偏转系统定位在第二电极上游，用于基于所述位移来偏转带电粒子束，从而引导带电粒子束穿过第二孔径。
主权项：1.一种用于带电粒子束装置的带电粒子光学器件，所述带电粒子束装置具有带电粒子束以及所述带电粒子束装置的射束传播方向，所述带电粒子光学器件包括：聚焦透镜，所述聚焦透镜包括：具有第一孔径的第一电极；具有第二孔径的第二电极，所述第二电极至少在垂直于所述射束传播方向的第一方向上能机械地移动；以及致动器，所述致动器耦合至所述第二电极，以至少在所述第一方向上移动所述第二电极，从而进行所述第二孔径相对于所述第一孔径的位移；所述带电粒子光学器件进一步包括：偏转系统，所述偏转系统定位在所述第二电极上游，用于基于所述位移来偏转所述带电粒子束，从而引导所述带电粒子束穿过所述第二孔径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ICT半导体集成电路测试有限公司 用于带电粒子束装置的带电粒子光学器件、带电粒子束装置以及用于在带电粒子束设备中对样品进行成像的方法
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