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表面发射激光器和用于制造表面发射激光器的方法 

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申请/专利权人:索尼集团公司

摘要:本技术提供了一种表面发射激光器,其能够就反射器整体而言补偿包括在反射器中的多层膜反射器的基于材料体系的缺陷。根据本技术的表面发射激光器包括:第一结构ST1,包括第一反射器R1;第二结构ST2,包括第二反射器R2;以及有源层204,设置在第一结构ST1与第二结构ST2之间。第一反射器R1具有层叠的第一多层膜反射器102和第二多层膜反射器202。第一多层膜反射器102由第一材料体系构成,并且第二多层膜反射器202由与第一材料体系不同的第二材料体系构成。根据本技术,可以提供一种能够就反射器整体而言补偿包括在反射器中的多层膜反射器的基于材料体系的缺陷的表面发射激光器。

主权项:1.一种表面发射激光器,包括:第一结构,包括第一反射器;第二结构,包括第二反射器;以及有源层,设置在所述第一结构与所述第二结构之间,其中,所述第一反射器包括层叠的第一多层反射器和第二多层反射器,所述第一多层反射器由第一材料体系制成,并且所述第二多层反射器由与所述第一材料体系不同的第二材料体系制成。

全文数据:

权利要求:

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