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申请/专利权人:NGK电子器件株式会社;日本碍子株式会社
摘要:设有基板布线部200的陶瓷基板部110形成为基板生坯GS。陶瓷框部120形成为具有包围空腔CV的框形状的框状生片GF。在基板生坯GS上层叠框状生片GF。通过实施激光加工,在框状生片GF上形成到达基板布线部200而不贯通基板布线部200的过孔VH。在框状生片GF的过孔VH内形成过孔电极510作为电极生坯G510。烧成基板生坯GS、框状生片GF和电极生坯G510。
主权项:1.一种封装体701的制造方法,其特征在于,所述封装体701设有用于收纳电子部件890的空腔CV,所述封装体701包含:陶瓷基板部110;基板布线部200,其设于所述陶瓷基板部110;陶瓷框部120,其配置在设有所述基板布线部200的所述陶瓷基板部110上,包围所述空腔CV;以及过孔电极510,其设置于所述陶瓷框部120,到达所述基板布线部200,所述制造方法具备:将设有所述基板布线部200的所述陶瓷基板部110形成为基板生坯GS的工序;将所述陶瓷框部120形成为具有包围所述空腔CV的框形状的框状生片GF的工序;在所述基板生坯GS上层叠所述框状生片GF的工序;通过实施激光加工而在所述框状生片GF上形成到达所述基板布线部200而不贯通所述基板布线部200的过孔VH的工序;将所述过孔电极510在所述框状生片GF的所述过孔VH内形成为电极生坯G510的工序;以及对所述基板生坯GS、所述框状生片GF以及所述电极生坯G510进行烧成的工序。
全文数据:
权利要求:
百度查询: NGK电子器件株式会社 日本碍子株式会社 封装体的制造方法
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