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申请/专利权人：豪威科技股份有限公司
摘要：本申请涉及具有隔离像素的像素阵列。一种像素阵列包含半导体衬底、多个隔离层段和多个光电二极管。所述多个隔离层段中的每一个在第一方向上延伸穿过所述半导体衬底。所述多个隔离层段中的每一个在垂直于所述第一方向的平面中围封所述半导体衬底的一部分。所述多个隔离层段形成限定所述半导体衬底的多个隔离区段的网格。所述半导体衬底的所述多个隔离区段包含所述半导体衬底的所述部分。所述光电二极管中的每一个形成于所述半导体衬底的所述多个隔离区段中的相应一个区段中。
主权项：1.一种像素阵列，其包括：半导体衬底；多个隔离层段，其使用在所述半导体衬底上形成棋盘网格的掩膜图案蚀刻而形成在沟槽中，其中所述多个隔离层段中的每一个在第一方向上延伸穿过所述半导体衬底，其中所述多个隔离层段中的每一个在垂直于所述第一方向的平面中围封所述半导体衬底的一部分，其中所述多个隔离层段形成限定所述半导体衬底的多个隔离区段的网格，其中所述半导体衬底的所述多个隔离区段包含所述半导体衬底的所述部分，且其中所述多个隔离层段包含氧化物材料；以及多个光电二极管，其中所述光电二极管中的每一个形成于所述半导体衬底的所述多个隔离区段中的相应一个区段中，其中包含在所述多个隔离区段中的沿着所述多个隔离区段的外围定位的一些外围区段不具有在所述多个隔离区段的外侧用于隔离所述外围区段的隔离层段。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 豪威科技股份有限公司 具有隔离像素的像素阵列
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