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一种金线盒发放装置及控制方法 

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申请/专利权人:苏州密卡特诺精密机械有限公司

摘要:本发明提供一种金线盒发放装置及控制方法,涉及半导体技术领域。金线盒发放装置包括氮气柜、至少一个第一门体组件、传料通道和至少一个第二门体组件,在存储金线盒时第一门体开启时第二门体封闭,第二门体开启时第一门体封闭,且第一门体组件和第二门体组件中的至少一个包括弧形轨道,弧形轨道包括竖直部和弯曲部,弯曲部逐渐靠近氮气柜,第一门体或第二门体处于弯曲部时与其对应的侧壁紧密贴合且封闭对应的开口。本发明通过在金线盒发放装置中设置对应布置的第一门体和第二门体,并在第一门体组件和第二门体组件中设置弧形轨道,以使得第一门体或第二门体处于弯曲部时与其对应的侧壁紧密贴合且封闭对应的开口,从而提高氮气柜的密封性能。

主权项:1.一种金线盒发放装置,其特征在于,包括:壳体,所述壳体包括具有至少一个料口的面板,所述料口用于取放所述金线盒;氮气柜,位于所述壳体内,所述氮气柜内设有用于存储所述金线盒的货架,所述氮气柜包括与所述面板平行且相对设置的第一侧壁,所述第一侧壁设有至少一个第一开口;至少一个第一门体组件,包括可沿竖直方向移动的第一门体,用于封闭或开启所述第一开口;传料通道,位于所述氮气柜和所述面板之间,所述传料通道包括与所述面板贴合的第二侧壁,所述第二侧壁设有至少一个第二开口;至少一个第二门体组件,包括可沿竖直方向移动的第二门体,用于封闭或开启所述第二开口;在存储所述金线盒时所述第一门体开启时所述第二门体封闭,所述第二门体开启时所述第一门体封闭,且所述第一门体组件和所述第二门体组件中的至少一个包括弧形轨道,所述弧形轨道包括竖直部和弯曲部,所述弯曲部逐渐靠近所述氮气柜,所述第一门体或所述第二门体处于所述弯曲部时与其对应的侧壁紧密贴合且封闭对应的开口。

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权利要求:

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