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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本公开提供了一种光波导及其生长方法，光波导包括衬底、下包层、芯层和上包层，衬底、下包层、芯层和上包层由下至上依次生长；下包层中设有第一结构和第二结构，第二结构设于第一结构上；上包层中设有第三结构和第四结构，第四结构设于第三结构上；其中，第一结构和第四结构的折射率垂直于光波传播方向周期性变化，第一结构和第四结构形成光子能带间隙，光子能带间隙调整光波导弯曲部分模式与直线部分模式的色散关系；第二结构和第三结构的折射率平行于光波传播方向周期性变化，将预设衍射波长的光波反射回芯层。本公开能够解决现有光波导传输损耗高、集成度低的问题。
主权项：1.一种光波导，其特征在于，包括衬底（1）、下包层（2）、芯层（3）和上包层（4），所述衬底（1）、下包层（2）、芯层（3）和上包层（4）由下至上依次生长；所述下包层（2）中设有第一结构（20）和第二结构（21），所述第二结构（21）设于所述第一结构（20）上；所述上包层（4）中设有第三结构（40）和第四结构（41），所述第四结构（41）设于所述第三结构（40）上；其中，所述第一结构（20）和第四结构（41）的折射率垂直于光波传播方向周期性变化，所述第一结构（20）和所述第四结构（41）形成光子能带间隙，所述光子能带间隙调整所述光波导弯曲部分模式与直线部分模式的色散关系；所述第二结构（21）和第三结构（40）的折射率平行于光波传播方向周期性变化，将预设衍射波长的光波反射回芯层（3）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 光波导及其生长方法
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