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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种气浴装置及平面光栅测量系统，涉及平面光栅测量系统环境控制领域。该气浴装置，热交换单元包括换热主体，换热主体内设置有多个气道和多个水道，气道与水道交错排布；水道内的温控水的流向与气道内的气体的流向相反；上层流道单元的内层喷射口用于喷射形成环形气幕的湍流气体，外层喷射口用于喷射维持环形气幕气体成分稳定的层流气体。该气浴装置，气体的换热面积增大，换热效率提高；对气体的控温精度也比较高；无需设置导热垫片，能够大大降低安装空间对气浴装置的限制和气浴装置制造难度以及在整机中的装配难度；还能够避免导热垫片破损或分布不均所导致的换热效率低，亦可防止导热垫片所带来的潜在污染风险。
主权项：1.一种气浴装置，其特征在于，沿气体流动方向，所述气浴装置包括依次连通的气体流入单元100、热交换单元200和上层流道单元300；所述热交换单元200包括换热主体210，所述换热主体210内设置有多个气道和多个水道，所述气道与所述水道交错排布；所述水道内的温控水的流向与所述气道内的气体的流向相反；多个所述气道的进气端均与所述气体流入单元100连通，出气端均与所述上层流道单元300连通；多个所述水道的进水端均与进水口连通，出水端均与出水口213连通；所述上层流道单元300设置有内层喷射口331和外层喷射口332，所述内层喷射口331用于喷射形成环形气幕的湍流气体，所述外层喷射口332用于喷射维持所述环形气幕气体成分稳定的层流气体。
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权利要求：
百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 一种气浴装置及平面光栅测量系统
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