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一种硅片抽料伸缩流线 

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申请/专利权人:诺德凯(苏州)智能装备有限公司

摘要:本实用新型公开了一种硅片抽料伸缩流线,包括固定部和移动部,固定部内设置有伸缩通道,伸缩通道的顶部贯穿固定部的顶部,移动部滑动安装在伸缩通道内,移动部的顶面与固定部的顶面等高;移动部与固定部之间设置有伸缩机构,伸缩机构驱动移动部伸出或缩入伸缩通道;固定部与移动部之间设置有两条皮带流线,两条皮带流线分别位于伸缩通道的两侧,两条皮带流线上分别设置有皮带调节机构,皮带调节机构用于保持皮带流线的张紧度。通过将皮带流线设置在可伸缩的固定部与移动部之间,在发生硅片破损后通过伸缩机构驱动移动部收缩,使皮带流线抽离花篮,从而方便对破损硅片的清理,减少了清理时间,提高了硅片分选效率。

主权项:1.一种硅片抽料伸缩流线,其特征在于,包括固定部和移动部,所述固定部内设置有伸缩通道,所述伸缩通道的顶部贯穿所述固定部的顶部,所述移动部滑动安装在所述伸缩通道内,所述移动部的顶面与所述固定部的顶面等高;所述移动部与所述固定部之间设置有伸缩机构,所述伸缩机构驱动所述移动部伸出或缩入所述伸缩通道;所述固定部与所述移动部之间设置有两条皮带流线,两条所述皮带流线分别位于所述伸缩通道的两侧,两条所述皮带流线上分别设置有皮带调节机构,所述皮带调节机构用于保持所述皮带流线的张紧度。

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权利要求:

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