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一种高真空门阀测试用真空结构及设备 

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申请/专利权人:神通半导体科技(南通)有限公司

摘要:本实用新型公开了一种高真空门阀测试用真空结构及设备,其包括L形板,所述L形板上设置有转移机构,所述L形板的下表面固定连接有操作台,所述操作台的上表面一侧开设有检测槽。通过上述结构,通过转移机构自动对安装好的高真空门阀进行检测,避免操作者手动握住进行检测由于操作者的手抖动等情况造成检测结果产生误差,提高装置检测的准确性,装置检测机构中,固定框与隔离网相配合构成连通器,与检测槽内的区域位置的水位相同,并且避免水中的较大杂质污染检测设备,延长了装置的使用寿命,装置的检测原理相对简单易懂,只需对操作人员进行简单的培训即可进行操作,使得装置更适合普遍推广进行使用,进而降低了高真空门阀检测成本。

主权项:1.一种高真空门阀测试用真空结构,包括L形板1,其特征在于,所述L形板1上设置有转移机构6,所述L形板1的下表面固定连接有操作台2,所述操作台2的上表面一侧开设有检测槽3,所述操作台2的内壁固定连接有排出管4,所述排出管4上设置有控制阀5,所述操作台2上设置有检测机构7。

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