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申请/专利权人：华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所)

摘要：本发明公开了一种两级温控石英挠性加速度计结构，包括基座和盒盖，盒盖具有中空腔；基座面向中空腔的一侧上设有第一加热膜；盒盖的内壁上还设有第二加热膜；第一加热膜与第二加热膜共同作为一级温控部分以控制中空腔内的环境温度；盒盖的中空腔内固定有加表座，加表座上固定连接了加速度计本体和第三加热膜；加表座上固定有热电制冷器；热电制冷器被配置为在第三加热膜快速升温接近温控目标时提供制冷，第三加热膜和热电制冷器作为二级温控部分以实现加速度计本体在温控目标范围的快速稳定。利用第一加热膜、第二加热膜对加速度计本体周围的环境进行温控，利用第三加热膜和热电制冷器两种温控器件，来实现对石英挠性加速度计的快速精密温控。

主权项：1.一种两级温控石英挠性加速度计结构，包括基座10和安装在所述基座10上的盒盖20，所述盒盖20具有中空腔；其特征在于，所述基座10面向所述中空腔的一侧上设有第一加热膜11；所述盒盖20的内壁上还设有第二加热膜23；所述第一加热膜11与所述第二加热膜23共同作为一级温控部分；所述盒盖20的中空腔内固定有加表座31，在所述加表座31上固定连接了加速度计本体32和第三加热膜33；所述加表座31上还固定有热电制冷器34；所述热电制冷器34被配置为在所述第三加热膜33快速升温接近温控目标时提供制冷，所述第三加热膜（33）和所述热电制冷器（34）两种温控器件进行相辅相成形成二级温控部分；所述加表座31中具有凹型结构的卡槽，所述加速度计本体32内置在所述卡槽内与所述加表座31卡接固定，所述第三加热膜33粘贴在所述加表座31的外表面，所述第三加热膜33被配置为以所述加速度计本体32的温度反馈进行升温；所述盒盖20包括上盖21和外筒22，所述上盖21置于所述外筒22的顶部，所述基座10置于所述外筒22的底部，所述上盖21、外筒22和所述基座10共同围成封闭的中空腔；利用一级温控部分对加速度计本体周围的环境进行温控，为内部的二级温控部分提供良好的环境温度，第三加热膜以加速度计本体的温度反馈为信号信息进行快速升温，当温度接近温控目标，再利用热电制冷器大功率制冷并利用PID温控算法控制，实现石英挠性加速度计在温控目标点的快速稳定。

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