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申请/专利权人：赛维LDK太阳能高科技(新余)有限公司

摘要：本发明公开了一种铸锭炉、铸锭晶体硅及其制备方法，铸锭炉包括炉体顶部，中部和底部，炉体内部为炉腔，炉腔内设有隔热笼，隔热笼内设有保温组件，保温组件由护板和底板形成一个容纳空间承载坩埚，保温组件还包括封盖在坩埚上的盖板，其中，炉体中部开设有第一排气口，第一排气管路适于与第一排气口连通，通往炉腔与隔热笼形成的第一空间内；炉体顶部或炉体底部开设有第二排气口，第二排气管路适于与第二排气口连通，通往炉腔与隔热笼形成的第二空间内；排气管路外部连接真空装置，第二排气管路与第一排气管路外部连通；第一排气管路上设有第一阀门，单独控制第一排气口的排气比例；第二排气管路上设有第二阀门，单独控制第二排气口的排气比例。

主权项：1.一种铸锭晶体硅的制备方法，其特征在于，其步骤为：S1：装料；进行籽晶铺底，并将原料装入坩埚中；S2：抽空、检漏；将坩埚放入铸锭炉中，对铸锭炉进行抽空、检漏，检漏时关闭第一、第二排气口，检漏完成后打开第一排气口，运行铸锭炉将温度加热至1450-1550度；S3：加热化料；保持温度在1450-1550度，使得所述原料熔化；S4：长晶；待籽晶达到预留层高度，降低温度，进入铸锭长晶阶段，开启所述第二排气口，控制所述第一排气口和所述第二排气口的排气比例，将长晶温度控制在1410-1440度之间，同时保持0.3-1cmh的速度打开隔热笼，维持定向凝固至长晶结束；S5：冷却；长晶结束，退火冷却，得到铸锭晶体硅；所述铸锭炉包括炉体（1），所述炉体（1）包括炉体顶部（11），炉体中部（12）和炉体底部（13），所述炉体内部的空间为炉腔，所述炉腔内设有隔热笼（3），所述隔热笼（3）内设有保温组件（2），所述保温组件（2）由护板（22）和底板（23）形成一个容纳空间承载用来装料的坩埚（4），所述保温组件还包括盖板（21），所述盖板封盖在所述坩埚（4）上，所述铸锭炉中的进气口（9）位于所述炉体（1）顶部，所述进气口（9）沿所述炉体（1）轴向的中心线对称设置通入隔热笼（3）内部空间；所述炉体中部（12）开设有第一排气口，所述第一排气管路（51）适于与所述第一排气口连通，通往所述炉腔与所述隔热笼（3）形成的第一空间（71）内；所述炉体顶部（11）开设有第二排气口，所述第二排气管路（52）适于与所述第二排气口连通，通往所述炉腔与所述隔热笼（3）形成的第二空间（72）内；所述第二排气管路（52）的外边缘（521）与所述隔热笼外边缘（31）的距离为L1，所述隔热笼外边缘（31）与所述炉体轴向的中心线的距离为L，所述L1L比值为116-14；所述排气管路外部连接真空装置（8），所述第二排气管路（52）与所述第一排气管路（51）外部连通；所述第一排气管路（51）上设有第一阀门（61），单独控制第一排气口的排气比例；所述第二排气管路（52）上设有第二阀门（62），单独控制第二排气口的排气比例；进入长晶初期，控制第一排气口和第二排气口的排气比例是9：1~1：1；随着长晶的进行，逐渐增加第二排气口的排气比例，当铸锭长晶进行5-10h后，控制第一排气口和第二排气口的排气比例是1：1~1：9。

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