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用于感应位置编码器的发射器和接收器配置 

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申请/专利权人:株式会社三丰

摘要:一种电子位置编码器,包括标尺和检测器。该检测器包括磁场产生线圈FGC,该磁场产生线圈具有界定产生磁场区域的细长部分和感测区域,两者都沿着标尺对准。感测区域中的感测元件响应于与所产生的磁场相互作用的标尺而提供位置信号。感测元件和细长部分被制造在检测器部分的“前”层中。制造在“后”层中的交叉屏蔽端部部分SES通过馈通而连接细长部分。感测元件区域比FGC的细长部分长。正交于这些层的SES的投影与感测元件区域中的感测元件重叠。导电屏蔽区域CSR配置在被置于前层和后层之间的CSR层中,以拦截SES朝向重叠的感测元件的至少大部分投影。

主权项:1.一种电子位置编码器,可用于沿着与x轴线方向一致的测量轴线方向测量两个元件之间的相对位置,该电子位置编码器包括:标尺,沿着测量轴线方向延伸并且包括信号调制标尺图案,所述信号调制标尺图案包括至少第一图案轨道,所述第一图案轨道具有沿着垂直于x轴线方向的y轴线方向的图案轨道宽度尺寸,每个图案轨道包括信号调制元件,所述信号调制元件被布置成提供作为沿着x轴线方向的位置的周期性函数而变化的空间变化特性,检测器部分,其被配置为安装在所述至少第一图案轨道附近,并且相对于所述至少第一图案轨道沿着测量轴线方向移动,所述检测器部分包括多层电路元件,所述多层电路元件具有在正常操作期间面向标尺的前表面,包括:磁场产生线圈配置,固定在多层电路元件上,包括:输入部分,包括至少两个连接部分,其将磁场产生线圈配置连接到来自信号处理配置的线圈驱动信号;和第一轨道磁场产生线圈部分,其被配置为标称地围绕与第一图案轨道标称地对准的第一轨道所产生磁场区域,并且响应于线圈驱动信号在第一轨道所产生磁场区域中产生第一轨道变化磁通量,第一轨道磁场产生线圈部分包括:第一轨道第一侧和第二侧细长部分,其被制造在多层电路元件的一个或多个细长部分层中,且沿着x轴线方向靠近第一轨道所产生磁场区域的第一侧和第二侧延伸,其中第一轨道第一侧和第二侧细长部分共同跨越或限定沿着x轴线方向的第一轨道细长部分长度尺寸,并且第一轨道第一侧和第二侧细长部分之间的y轴线方向间隔限定了标称第一轨道所产生磁场区域宽度尺寸;和第一轨道屏蔽端部部分,其被制造在多层电路元件的第一轨道屏蔽端部部分层中,并且跨越第一轨道第一侧和第二侧细长部分之间的y轴线方向间隔,并且被包括在将第一轨道磁场产生线圈部分中的第一轨道第一侧和第二侧细长部分连接的端部导体路径中;和至少一个第一轨道屏蔽端部配置,包括:第一轨道屏蔽端部部分;和导电屏蔽区域配置,其包括至少一个第一轨道导电屏蔽区域,该第一轨道导电屏蔽区域沿x轴线和y轴线方向延伸,并且被制造在第一轨道屏蔽区域层中,该第一轨道屏蔽区域层相对于它们沿与多层电路元件前表面标称正交的z轴线方向的位置位于第一轨道屏蔽端部部分层和多层电路元件的一个或多个接收器环路层之间;和多个感测元件,包括被制造在多层电路元件的一个或多个接收器环路层中的相应导电接收器环路,其中导电接收器环路沿着x轴线方向分布在与第一图案轨道标称对准的第一轨道感测元件区域上,并且感测元件被配置为提供检测器信号或检测器信号贡献,所述检测器信号或检测器信号贡献对由标尺图案的相邻信号调制元件SME提供的第一轨道变化磁通量上的局部效应做出响应;和信号处理配置,其可操作地连接到检测器部分以提供线圈驱动信号,并且被配置为基于从检测器部分输入的检测器信号来确定检测器部分和标尺图案之间的相对位置,其中:第一轨道感测元件区域在沿着x轴线方向的第一轨道感测元件区域长度尺寸和沿着y轴线方向的第一轨道感测元件区域宽度尺寸上延伸,其中沿着x轴线方向的第一轨道感测元件区域长度尺寸比第一轨道细长部分长度尺寸长;第一轨道屏蔽端部部分被配置成使得,其沿着z轴线方向朝向接收器环路层的z轴线投影至少部分地与第一轨道感测元件区域中的导电接收器环路重叠;和第一轨道导电屏蔽区域被配置在其第一轨道屏蔽区域层中,使得其被插入在第一轨道屏蔽端部部分和第一轨道感测元件区域中的导电接收器环路之间,并且被配置为拦截第一轨道屏蔽端部部分的z轴线投影的一区域的至少大部分,所述区域与第一轨道感测元件区域中的导电接收器环路重叠。

全文数据:

权利要求:

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