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石英坩埚的透过率测定方法及装置 

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申请/专利权人:胜高股份有限公司

摘要:本发明的课题在于提供一种能够准确地测定石英坩埚的透过率的测定方法及测定装置。其解决方案为,从配置在石英坩埚的一个壁面(1Wa)侧的光源(5),向石英坩埚的规定测定点照射平行光,在石英坩埚的另一个壁面(1Wb)侧的以另一个壁面(1Wb)上的平行光的出射点P为中心的同心圆(C0)上的多个位置配置检测器(6),并在多个位置测定石英坩埚的透射光的受光水准,根据在多个位置测定的透射光的多个受光水准,求出在规定测定点下的石英坩埚的透过率。

主权项:1.一种石英坩埚的透过率测定方法,其特征在于,从配置在石英坩埚的一个壁面侧的光源,向所述石英坩埚的所述一个壁面上的规定测定点照射平行光,在同心圆上的多个位置配置检测器,并在所述多个位置测定所述石英坩埚的透射光的受光水准,所述同心圆的中心是所述平行光的光轴与所述石英坩埚的另一个壁面的交点且是所述另一个壁面上的所述平行光的出射点,从在所述多个位置测定的所述透射光的多个受光水准求出所述透射光的总能量,根据所述透射光的总能量相对于入射到所述一个壁面侧的所述平行光的总能量之比,求出所述规定测定点下的所述石英坩埚的透过率,通过使所述光源及所述检测器的位置沿着所述石英坩埚的所述壁面向高度方向移动,在所述石英坩埚的高度方向上的不同位置的多个测定点测定所述透过率。

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权利要求:

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