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申请/专利权人：华侨大学
摘要：本发明公开了磨料与晶圆衬底摩擦化学反应的实现装置及其实现方法，实现装置包括主轴模块、液池模块及装夹模块；该主轴模块包括主轴、转接盘、供晶圆衬底固设其上的样品台和加热器；该液池模块包括液池、盖板、固定环及进液管，该液池包括设有安装通孔的池底、池内壳、池外壳和设有样品口的池盖；该装夹模块包括加载装置、样品夹杆和硬质磨料压头。它具有如下优点：通过硬质磨料压头与晶圆衬底的划擦实验，还原加工过程中划擦速度、载荷、温度和润滑状态，进而研究硬质磨粒与晶圆之间的界面作用关系，有助于揭示硬质磨料与晶圆衬底界面摩擦化学反应的作用机制，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景，且装置简单、操作方便。
主权项：1.磨料与晶圆衬底摩擦化学反应的实现装置，其特征在于：包括主轴模块、液池模块及装夹模块；该主轴模块包括主轴、转接盘、供晶圆衬底固设其上的样品台和加热样品台的加热器，该转接盘固装在主轴上，该样品台固装在转接盘上，通过主轴带动样品台转动；该液池模块包括液池、盖板、固定环及进液管，该液池包括设有安装通孔的池底、池内壳、池外壳和设有样品口的池盖；该池内壳和池外壳内外间隔地固设在池底上且池内壳包围安装通孔，该池盖固设在池外壳上且池盖和池内壳间隔布置，该液池设有出液口；该盖板固接在池盖上且盖接样品口，该固定环固装在盖板，该进液管装设在固定环内且进液管下端口对应池内壳和池外壳的环形间隔以向液池内注入润滑液；该主轴能转动地密封装入安装通孔，该转接盘能转动撑设在池内壳，该转接盘、晶圆衬底和样品台位于液池内；该装夹模块包括加载装置、样品夹杆和硬质磨料压头，该样品夹杆装设在固定环内，该硬质磨料压头固设在样品夹杆下端，该加载装置连接样品夹杆且向样品夹杆施压以使硬质磨料压头和晶圆衬底接触。
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百度查询： 华侨大学 磨料与晶圆衬底摩擦化学反应的实现装置及其实现方法
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