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申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
摘要：本发明公开一种进气量控制系统、方法和气相沉积炉及其操作工艺，涉及气相沉积炉技术领域，以解决碳碳复合材料的生产效率低的问题。所述进气量控制系统包括尾气检测装置、进气量调节装置和进气装置；尾气检测装置用于检测尾气中碳源气的含量；进气量调节装置用于调整下一周期的碳源气进气量；进气装置用于在下一周期控制碳源气进入气相沉积炉。所述进气量控制方法包括上述技术方案所提的进气量控制系统，所述气相沉积炉包括上述技术方案所提的进气量控制系统，所述气相沉积炉的操作工艺使用上述技术方案所提的气相沉积炉。本发明提供的进气量控制系统用于控制气相沉积炉内碳源气的进气量。
主权项：1.一种进气量控制系统，应用于气相沉积炉，用于碳碳复合材料的生产工艺，其特征在于，包括尾气检测装置、进气量调节装置和进气装置；所述尾气检测装置用于检测尾气中碳源气的含量；所述进气量调节装置用于根据所述尾气检测装置检测的所述尾气中碳源气的含量调整下一周期的碳源气进气量；所述进气装置用于根据所述进气量调节装置调整的所述下一周期的碳源气进气量，在下一周期控制碳源气进入所述气相沉积炉。
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权利要求：
百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 一种进气量控制系统、方法和气相沉积炉及其操作工艺
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