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申请/专利权人：欧梯恩智能科技(苏州)有限公司
摘要：本申请涉及一种法布里珀罗加速度传感器，包括：位于中间的SOI晶片，以及位于SOI晶片顶部和底部的玻璃，顶部的玻璃由槽所分割形成中间部分和四周部分，所述SOI晶片中间为凸台并通过悬臂梁与所述SOI晶片的侧壁连接，所述凸台中间具有透光孔，所述凸台顶部与顶部的玻璃的中间部分键合成一体形成质量块，所述透光孔对应光路的顶部和底部的玻璃的内壁上均镀有图形化高反膜。本申请的传感器使用硅作为机械结构，玻璃作为光学结构，有效降低光学镀膜的表面粗糙度，提高光学性能。成型完槽后的玻璃结构可作为限位块，防止非轴向加速度过大导致过载引起失效。芯片中央硅凸台设计可作为轴向加速度的过载保护，防止失效，增加可靠性。
主权项：1.一种法布里珀罗加速度传感器，其特征在于，包括：位于中间的SOI晶片1，以及位于SOI晶片1顶部和底部的玻璃2，顶部的玻璃2由槽9所分割形成中间部分和四周部分，所述SOI晶片1中间为凸台62并通过悬臂梁5与所述SOI晶片1的侧壁连接，所述凸台62中间具有透光孔61，所述凸台62顶部与顶部的玻璃2的中间部分键合成一体形成质量块，所述透光孔61对应光路的顶部和底部的玻璃2的内壁上均镀有图形化高反膜22。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 欧梯恩智能科技(苏州)有限公司 一种法布里珀罗加速度传感器结构及其制备方法
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