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申请/专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明提供一种基于元素碲光热电效应的柔性长波红外阵列探测器，其特征在于，包括：所述探测器为平面型金属‑半导体‑金属结构；所述探测器的像素建立在温差的方向平行于所述探测器所在平面；所述金属‑半导体‑金属结构为半导体的两端沉积金属电极。本发明的柔性长波红外阵列探测器具有结构、制备工艺简单，易于规模化批量生产等优点，且表现出优良的长波红外探测能力。柔性光热电探测器在1000次弯折后，光响应性能没有明显降低。碲基柔性光热电探测器的响应时间为18ms，响应速度甚至优于众多紫外、可见、近红外光子型柔性探测器。
主权项：1.基于元素碲光热电效应的柔性长波红外阵列探测器，其特征在于，包括：碲膜阵列结构、非对称金属电极以及柔性衬底；像元采用平面型金属-半导体-金属结构，利用金属掩模版或者光刻定义碲膜阵列结构的尺寸，采用物理气相沉积的方式在柔性衬底上沉积元素碲；通过套刻，在像元一侧沉积易与碲反应形成窄带隙化合物的金属作为电极，为增强元素碲与金属间的相互扩散和反应，提高电极的沉积温度；所述电极为易与元素碲发生反应、形成窄带隙合金的银、钛、铋、铬、铜；在另一侧沉积高红外反射率、高热导率、不易与元素碲形成合金的金属作为另一侧电极；所述另一侧电极为抑制电极对红外光的吸收，降低电极处温升的金、铝；各像元两侧的电极通过导线与多通道测量系统相连，实现数据采集；所述探测器采用导电率小于3Wm-1K-1的聚合物薄膜作为衬底。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院大连化学物理研究所 基于元素碲光热电效应的柔性长波红外阵列探测器
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