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申请/专利权人：西北工业大学宁波研究院;西北工业大学

摘要：本发明提供了一种电磁驱动珐珀滤波芯片及其制作方法，包括：固定镜体，固定镜体的底端设有键合层；第一反射镜，设于固定镜体底端并位于键合层的第一通孔内；可动镜体，可动镜体的顶端连接键合层；第二反射镜，设于可动镜体顶端并位于键合层之间，第二反射镜与第一反射镜正相对；间隔层，设于可动镜体底端；环形永磁体，设于可动镜体的底端并位于间隔层的第二通孔内；单片式驱动线圈，单片式驱动线圈的顶端连接间隔层背向可动镜体的一端；可动镜体的底端开设有匹配环形永磁体的永磁体槽；可动镜体的环形通孔内设有悬臂梁。有益效果是本发明通过将光学结构和单片式驱动线圈进行单片集成封装，减少电磁驱动珐珀滤波芯片体积，提高封装精度。

主权项：1.一种电磁驱动珐珀滤波芯片，其特征在于，包括：一固定镜体1，所述固定镜体1的底端设有一键合层2且所述键合层2的顶端开设有一第一通孔；一第一反射镜3，设于所述固定镜体1的底端并位于所述键合层2的所述第一通孔内，所述第一反射镜3的反射面背向所述固定镜体1；一可动镜体4，所述可动镜体4的顶端连接所述键合层2背向所述固定镜体1的一端；一第二反射镜5，设于所述可动镜体4的顶端并位于所述键合层2的所述第一通孔内，所述第二反射镜5与所述第一反射镜3正相对且所述第二反射镜5的反射面朝向所述第一反射镜3，所述第二反射镜5与所述第二反射镜5之间形成珐珀干涉腔，所述固定镜体1、所述键合层2、所述第一反射镜3、所述可动镜体4和所述第二反射镜5构成所述电磁驱动珐珀滤波芯片的光学结构；一间隔层6，设于所述可动镜体4的底端且所述间隔层6的顶端开设有一第二通孔；一环形永磁体7，设于所述可动镜体4的底端并位于所述间隔层6的所述第二通孔内；一单片式驱动线圈8，所述单片式驱动线圈8的顶端连接所述间隔层6背向所述可动镜体4的一端；所述可动镜体4的底端开设有一永磁体槽9以供所述环形永磁体7嵌入；所述可动镜体4的顶端开设有一环形通孔10且所述环形通孔10内设有一悬臂梁11；所述光学结构、所述间隔层6、所述环形永磁体7和所述单片式驱动线圈8采用单片集成封装的固定方式得到所述电磁驱动珐珀滤波芯片。

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