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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明的课题在于提供一种能够适当干燥衬底的衬底处理方法、衬底处理装置、处理液及处理液评估方法。本发明涉及一种衬底处理方法、衬底处理装置、处理液及处理液评估方法。衬底处理方法包括处理液供给工序、固化膜形成工序及升华工序。在处理液供给工序中，向衬底供给处理液。处理液包含升华性物质及溶剂。在固化膜形成工序中，溶剂从衬底上的处理液中蒸发。在固化膜形成工序中，在衬底上形成固化膜。固化膜包含升华性物质。在升华工序中，固化膜升华。衬底因固化膜的升华而得以干燥。此处，升华性物质的正的最大部分电荷为0.22以上且小于0.34。
主权项：1.一种衬底处理方法，是对形成有图案的衬底进行处理的方法，且包括：处理液供给工序，向所述衬底供给包含升华性物质及溶剂的处理液；固化膜形成工序，使所述溶剂从所述衬底上的所述处理液中蒸发，在所述衬底上形成包含所述升华性物质的固化膜；及升华工序，使所述固化膜升华；且所述升华性物质的正的最大部分电荷为0.22以上且小于0.34。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底处理方法、衬底处理装置、处理液及处理液评估方法
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