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申请/专利权人：乐山市京运通半导体材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种基于直拉法拉晶的连接管路，包括主室和位于主室上方的副室，所述主室和副室之间设有隔离阀，还包括输送氩气的氩气罐和输送氮气的氮气罐，所述氩气罐与主室和副室分别连通，所述氮气罐与副室连通。本实用新型实现化料工序中单独使用氩气，其余工序氩气中掺杂有氮气，同时氩气和氮气进行均匀充入，效率高，延长单晶炉热场的使用寿命。
主权项：1.一种基于直拉法拉晶的连接管路，其特征在于，包括主室1和位于主室1上方的副室2，所述主室1和副室2之间设有隔离阀3，还包括输送氩气的氩气罐4和输送氮气的氮气罐5，所述氩气罐4与主室1和副室2分别连通，所述氮气罐5与副室2连通。
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权利要求：
百度查询： 乐山市京运通半导体材料有限公司 一种基于直拉法拉晶的连接管路
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