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申请/专利权人：苏州豪尔葳纳米科技有限公司
摘要：本实用新型涉及真空处理装置技术领域，公开了一种基于PVD镀膜技术的真空处理装置，包括清洁箱、真空泵、固定块、过滤网和替换组件，清洁箱的一侧固定安装有镀膜外壳，镀膜外壳的一侧固定安装有冷却箱，镀膜外壳的内部固定安装有真空镀膜箱，真空镀膜箱的顶部固定安装有真空泵，本实用新型的有益效果是：通过过滤网和替换组件之间的配合，过滤网可以将真空镀膜箱内部空气当中存在的杂质进行过滤，防止杂质进入到真空泵的内部导致内部堵塞，避免影响到真空泵的使用效果，也便于延长真空泵的使用寿命，而且替换组件便于替换过滤网，不需要拆卸大量的零件，使得替换更加的便捷，提高了基于PVD镀膜技术的真空处理装置的实用性。
主权项：1.一种基于PVD镀膜技术的真空处理装置，其特征在于，包括清洁箱1、真空泵5、固定块6、过滤网7和替换组件8，所述清洁箱1的一侧固定安装有镀膜外壳2，所述镀膜外壳2的一侧固定安装有冷却箱3，所述镀膜外壳2的内部固定安装有真空镀膜箱4，所述真空镀膜箱4的顶部固定安装有真空泵5，所述真空泵5的输入端延伸至真空镀膜箱4的内部，所述真空泵5的输入端固定安装有固定块6，所述固定块6的底部固定安装有过滤网7，所述过滤网7的顶部设置有替换组件8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州豪尔葳纳米科技有限公司 一种基于PVD镀膜技术的真空处理装置
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