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一种直拉单晶硅用防鼓包坩埚 

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申请/专利权人:安徽阜兴新能源科技有限公司

摘要:本申请涉及坩埚领域,公开了一种直拉单晶硅用防鼓包坩埚。本申请中,包括坩埚本体,所述坩埚本体包括石英层、防鼓包涂层和碳碳埚邦层,所述碳碳埚邦层的内侧表面与石英层之间刷涂有防鼓包涂层。将高纯氮化硅粉按照:氮化硅粉∶纯水=1:1比例混合,并搅拌均匀;将步骤一中搅拌均匀的氮化硅和水的混合物用毛刷蘸取,均匀涂刷到碳碳埚邦内表面,至埚邦内表面没有透露底色即可;将涂刷好的碳碳埚邦静置,干燥即可使用。石墨坩埚上刷涂一层高纯氮化硅粉,防止石英坩埚和石墨坩埚直接接触,阻止了一氧化碳的生成从而减少了坩埚鼓包现象的发生。从源头上减少一氧化碳气体的产生,解决了坩埚鼓包的问题,降低了生产成本。

主权项:1.一种直拉单晶硅用防鼓包坩埚,包括坩埚本体4,其特征在于:所述坩埚本体4包括石英层1、防鼓包涂层2和碳碳埚邦层3,所述碳碳埚邦层3的内侧表面与石英层1之间刷涂有防鼓包涂层2。

全文数据:

权利要求:

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