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申请/专利权人：中北大学

摘要：本申请实施例提供一种具有自清洁功能的高灵敏性复合SERS基底及其制备方法，所述基底包括：硅衬底；自清洁层：设置于所述硅衬底上，用于在特定条件下对吸附的待测分子进行降解；第一贵金属层：设置于所述自清洁层上；间隔层：设置于所述第一贵金属层上，用于调控垂直方向上的粒子间隙；第二贵金属层：设置于所述石墨烯层上。本申请中的SERS基底具有一定的自清洁能力，拉曼灵敏度高，光谱重现性好，稳定性较好，可循环再利用，适用于痕量检测领域。

主权项：1.一种具有自清洁功能的高灵敏性复合SERS基底的制备方法，其特征在于：所述的复合SERS基底，包括：硅衬底（10）；自清洁层（20）：设置于所述硅衬底（10）上，用于在紫外可见光照射下对吸附的待测分子进行降解；第一贵金属层（30）：设置于所述自清洁层（20）上；间隔层（40）：设置于所述第一贵金属层（30）上，用于调控垂直方向上的粒子间隙；第二贵金属层（50）：设置于所述间隔层（40）上；所述自清洁层（20）为氧化锌层；所述第一贵金属层（30）为银纳米粒子层；所述间隔层（40）为石墨烯薄膜层；所述第二贵金属层（50）为金纳米粒子层；所述间隔层（40）为单层的石墨烯薄膜；所述氧化锌层的厚度为150nm~250nm；所述银纳米粒子层的厚度为15nm~25nm；所述石墨烯薄膜层的厚度为0.3nm~0.5nm；所述金纳米粒子层的厚度为3nm~8nm；所述的制备方法，包括：提供硅衬底（10）；采用磁控溅射工艺，在所述硅衬底（10）上制备氧化锌层；采用磁控溅射工艺，在所述氧化锌层上制备银纳米粒子层；将制备好的石墨烯薄膜转移至所述银纳米粒子层上，形成石墨烯薄膜层；采用电子束蒸发工艺，在所述石墨烯薄膜层上制备金纳米粒子层；所述将制备好的石墨烯薄膜转移至所述银纳米粒子层上，形成石墨烯薄膜层，具体包括：提供石墨烯基材；石墨烯基材的结构包括Cu基底，Cu基底的上表面和下表面均具有石墨烯薄膜；在其中一层石墨烯薄膜的表面旋涂PMMA保护层，并在180℃的温度下烘烤2min使其固化，然后将PMMA保护层粘贴于事先准备好的氧化硅衬底上；将石墨烯基材的另外一层石墨烯薄膜暴露在氧等离子体中进行10min的处理，以使其从石墨烯基材上脱落；其中，处理设备的功率为300w，气体流量为300sccm；将已去除一层石墨烯薄膜的石墨烯基材连同其附着的氧化硅衬底一起放入FeCl3腐蚀溶液中，使Cu基底与FeCl3溶液产生化学反应，以将Cu基底腐蚀掉；将仅剩一层石墨烯薄膜的石墨烯基材连同其附着的氧化硅衬底一起放入丙酮溶液中，去除PMMA保护层；使用氧化硅衬底将悬浮在溶液中的石墨烯薄膜捞起转移至基底的银纳米粒子层上，形成石墨烯薄膜层。

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