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申请/专利权人：武汉芯极客软件技术有限公司
摘要：本发明涉及半导体晶圆生产技术领域，具体涉及一种动态空挡片调度方法，包括以下步骤：S1、配置一盒内置空挡片以及多盒外置空挡片；S2、将内置空挡片置于加工晶圆的机台内，将多盒外置空挡片置于机台外；S3、在机台工作时，根据本次工作的制程参数计算所需的空挡片数量；S4、当所需的空挡片数量不超过一个整批时，则使用机台内的内置空挡片来填充空槽位，内置空挡片与量产晶圆一起出机台；当所需的空挡片数量超过一个整批时，则调度使用外置空挡片来填充空槽位，外置空挡片与量产晶圆一起进出机台。本发明可提高空挡片的利用率，减少空挡片的投入数量，进而减少生产晶圆的投入成本。
主权项：1.一种动态空挡片调度方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、配置一盒内置空挡片以及多盒外置空挡片；S2、将内置空挡片置于加工晶圆的机台内，将多盒外置空挡片置于机台外；S3、在机台工作时，根据本次工作的制程参数计算所需的空挡片数量；S4、当所需的空挡片数量不超过一个整批时，则使用机台内的内置空挡片来填充空槽位，内置空挡片与不同量产晶圆一起出机台，且内置空挡片具有独立的出机台机制；当所需的空挡片数量超过一个整批时，则调度使用外置空挡片来填充空槽位，外置空挡片与量产晶圆一起进出机台；步骤S3中，通过机台当前执行工作的制程参数获取机台能加工的最大晶圆片数，使用机台能加工的最大晶圆片数减去量产晶圆的数量以及专门用于监测炉管设备制程工艺质量的非量产晶圆数量，以获得本次执行工作需要补充的空挡片数量。
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权利要求：
百度查询： 武汉芯极客软件技术有限公司 动态空挡片调度方法
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