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申请/专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
摘要：本申请涉及CVD或CVI副产物处理技术领域，具体公开一种CVD或CVI副产物聚氯硅烷的在线处理系统和方法。该在线处理系统包括供气机构、汽化器和处理器。供气机构连接于汽化器；汽化器连接于处理器。汽化器装载有能与聚氯硅烷反应的稳定剂。处理器设置有用于接收CVD尾气或CVI尾气的入口，以及设置有出口；处理器的内部设置有冷却区和热反应区；入口通向冷却区；冷却区通向热反应区；热反应区安装有能捕集被冷却的聚氯硅烷的吸附件。将CVD尾气或CVI尾气通入在线处理系统之中，高沸点聚氯硅烷先被冷却然后被吸附件高效的捕集。然后开启热反应区的加热机制，吸附件上被加热的聚氯硅烷可以和稳定剂进行高效的反应。
主权项：1.一种CVD或CVI副产物聚氯硅烷的在线处理系统，其特征在于，包括供气机构、汽化器和处理器；所述供气机构连接于所述汽化器；所述汽化器连接于所述处理器；所述供气机构提供不与聚氯硅烷反应的载气；所述汽化器装载有能与聚氯硅烷反应的稳定剂；所述稳定剂能被所述载气带出而进入所述处理器之中；所述处理器设置有用于接收CVD尾气或CVI尾气的入口，以及设置有出口；所述处理器的内部设置有冷却区和热反应区；所述入口通向所述冷却区；所述冷却区通向所述热反应区；所述热反应区安装有能捕集被冷却的聚氯硅烷的吸附件；所述出口和所述冷却区分别位于所述吸附件的两侧；所述载气通向所述吸附件的朝向所述冷却区的一侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 CVD或CVI副产物聚氯硅烷的在线处理系统和方法
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