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申请/专利权人：常州磐云精密机械有限公司
摘要：本发明公开了一种多籽晶直拉炉，包括炉体，所述炉体的顶部设置有籽晶轴，本发明涉及直拉炉技术领域。该多籽晶直拉炉，制造一个熔化和结晶的环境，将原材料放在坩埚中加热熔化，控制温度比硅单晶的结晶温度略高，确保熔化后的硅材料在熔液表面可以结晶，直拉法生长硅单晶具有容易实现自动控制，生产效率高，易于制备大直径硅单晶，并且晶体生长速度快、晶体的纯度和完整性高，容易控制单晶中杂质浓度，可以制备低电阻率单晶等优点，是制备高质量大单晶，由于坩埚与籽晶杆朝着同一方向转动，进而可以在坩埚和籽晶杆均具有高转速的情况下，将坩埚与籽晶杆的转速差控制在合理的范围内，保证拉晶更高效和更高质量的完成。
主权项：1.一种多籽晶直拉炉，包括炉体1，其特征在于：所述炉体1的顶部设置有籽晶轴2，并且炉体1内壁顶部的一侧固定连接有导向杆3，所述籽晶轴2的表面固定连接有上安装盘4，所述籽晶轴2的表面且位于上安装盘4的下方固定连接有下安装盘5，所述上安装盘4和下安装盘5之间转动连接有籽晶夹头6，所述籽晶轴2的表面且位于上安装盘4和下安装盘5之间固定连接有大齿轮7，所述籽晶夹头6的表面固定连接有与大齿轮7相啮合的小齿轮8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州磐云精密机械有限公司 一种多籽晶直拉炉
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