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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：本揭露的一些实施例提供一种化学机械平坦化工具、监控缺陷系统与其方法，是有关一个化学机械平坦化工具以及平坦化基板的方法。特别而言，本揭露的一些实施例是有关一个用于在化学机械平坦化工具里的研磨步骤与清洁步骤中辨认化学机械平坦化造成的缺陷的临场缺陷数据分析工具。在一些实施方式中，化学机械平坦化工具包括一个人工智能辅助的缺陷数据库。缺陷数据库可以被用来在研磨或清洁过程中辨认及分类化学机械平坦化相关的缺陷，例如刮痕、残留的研磨液。因此，化学机械平坦化工艺的缺陷警告周期被显著地改善。
主权项：1.一种监控缺陷方法，其特征在于，包含：在一化学机械平坦化工具内处理一基板，其中该化学机械平坦化工具包含一缺陷数据分析工具；在该基板被该化学机械平坦化工具处理的同时收集一表面信息；在该缺陷数据分析工具内利用该表面信息辨别多个化学机械平坦化造成的缺陷；将所述多个化学机械平坦化造成的缺陷与一缺陷数据库比较以决定所述多个化学机械平坦化造成的缺陷是否超越一容忍值；以及如果所述多个化学机械平坦化造成的缺陷超越该容忍值，送出一警告信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 化学机械平坦化工具、监控缺陷系统与其方法
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