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申请/专利权人:厦门艾肯睿科技有限公司
摘要:本实用新型涉及检测装置技术领域,且公开了一种硅片碎片视觉检测装置,包括固定框,所述固定框的顶部固定安装有第一线扫相机,所述固定框的底部固定安装有第二线扫相机,所述第二线扫相机的顶部固定安装有防护板,所述固定框的正面固定安装有照明灯一,所述固定框的背部固定安装有照明灯二,所述固定框的正面设置有工位一。通过设置第一线扫相机和第二线扫相机起到了对硅片的正反两面进行检测的作用,使检测装置可以更精确的对硅片进行检测,有利于提高检测装置使用的便利性的作用,通过设置照明灯一和照明灯二起到了对硅片进行照明的作用,使第一线扫相机和第二线扫相机可以对硅片的影像进行记录,有利于提高检测装置的工作效率。
主权项:1.一种硅片碎片视觉检测装置,包括固定框1,其特征在于:所述固定框1的顶部固定安装有第一线扫相机2,所述固定框1的底部固定安装有第二线扫相机3,所述第二线扫相机3的顶部固定安装有防护板4,所述固定框1的正面固定安装有照明灯一5,所述固定框1的背部固定安装有照明灯二6,所述固定框1的正面设置有工位一7,所述固定框1的背部设置有工位二8。
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