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申请/专利权人：天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司
摘要：本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；所述压电层设置有凹陷结构，所述凹陷结构具有内缘与外缘；且所述顶电极的端部设置有附加结构，所述附加结构具有内边界与外边界，所述附加结构为由凸起部形成的凸结构或者由邻接设置的凸起部和下凹部组成的凸凹结构。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器，以及具有上述谐振器或者滤波器的电子设备。
主权项：1.一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极，具有电极连接部；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；所述压电层设置有凹陷结构，所述凹陷结构具有内缘与外缘；且所述顶电极的端部设置有附加结构，所述附加结构具有内边界与外边界，所述附加结构为由凸起部形成的凸结构或者由邻接设置的处于外侧的凸起部和处于内侧的下凹部组成的凸凹结构；所述电极连接部形成有拱形的桥部，所述附加结构设置在所述桥部与所述顶电极的边缘之间，所述凹陷结构位于所述桥部下方并且所述电极连接部与所述凹陷结构周围的压电层表面不接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 诺思(天津)微系统有限责任公司 带凹陷结构和凸结构的体声波谐振器、滤波器及电子设备
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