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摘要：本发明涉及一种用于外部气相沉积法的喷灯，包括有喷头体，喷头体上设置喷灯喷口，所述的喷灯喷口沿径向从内向外包括有原料气体喷口和燃料气体喷口，其特征在于所述的喷灯喷口的最外圈设置有气环喷口，所述的气环喷口与温度可调气源相连通。本发明气环喷口喷出气体形成筒状气帘，利用稳定气流的气帘取代喷灯前的罩子，可将沉积区域气体约束在气体环内，为二氧化硅的反应区提供稳定的气流场，保证整个沉积过程一致性。同时，通入气环的气体温度可随着沉积过程逐渐变化，使得沉积区域上下热场温度分布均匀，从而提高沉积质量。本发明采用多层环形原料气体喷口可使喷灯燃烧过程SiO2颗粒浓度变高，撞击到粉棒表面的SiO2更均匀，能实现大尺寸石英玻璃粉棒的最佳收集率和沉积速率。
主权项：1.一种用于外部气相沉积法的喷灯，包括有喷灯体，喷灯体上设置喷灯喷口，所述的喷灯喷口沿径向从内向外包括有原料气体喷口和燃料气体喷口，其特征在于所述的喷灯喷口的最外圈设置有气环喷口，所述的气环喷口与温度可调气源相连通；所述的气环喷口设置在燃料气体喷口的外周，气环喷口由环形孔隙或紧密间隔的环形小孔构成，气环喷口设置1～2层，气环喷口喷出气体形成筒状气帘，将燃烧原料反应气体笼罩在筒状气帘内。
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百度查询： 长飞光纤光缆股份有限公司 一种用于外部气相沉积法的喷灯
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