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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本公开提供一种外差式激光测振系统中声光频移偏差校正的方法及应用，包括：S1，对采集到的原始外差干涉信号正交分解得到的信号分量进行增益均衡、相位对齐和偏置校正处理；S2，根据S1中处理后的信号分量利用反正切函数计算相位信号；S3，对相位信号进行解卷绕；S4，对S3中处理后的相位信号进行差分；S5，对S4中差分得到的结果进行逐段处理，消除直流分量；S6，对S5中消除直流分量后的结果进行积分；S7，对S6中积分产生的直流分量进行消除；S8，根据S7得到的结果计算得到校正声光频移偏差后的振动位移信号。本公开的方法无需增加额外器件，仅需一个声光移频器，就可极大地消除声光频移偏差带来的相位误差项，实现低频微纳级振动位移的高精度测量。
主权项：1.一种外差式激光测振系统中声光频移偏差校正的方法，外差式激光测振系统使用单个声光移频器，其特征在于，包括：S1，对采集到的原始外差干涉信号正交分解得到的信号分量进行增益均衡、相位对齐和偏置校正处理；S2，根据所述S1中处理后的信号分量利用反正切函数计算相位信号；S3，对所述相位信号进行解卷绕；S4，对所述S3中处理后的相位信号进行差分；S5，对所述S4中差分得到的结果进行逐段处理，消除直流分量；S6，对所述S5中消除直流分量后的结果进行积分；S7，对所述S6中积分产生的直流分量进行消除；S8，根据所述S7得到的结果计算振动位移信号，得到校正声光频移偏差后的振动位移信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 外差式激光测振系统中声光频移偏差校正的方法及应用
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