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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：描述了用于在千赫kHzRF发生器的操作循环内调谐兆赫射频RF发生器的系统和方法。在所述方法中的一种中，将预定的周期性波形提供给处理器。处理器使用基于计算机的模型来确定预定周期性波形的多个频率参数。频率参数被应用于兆赫RF发生器以在千赫RF发生器的一个或多个操作循环期间产生具有频率参数的RF信号。
主权项：1.一种调谐方法，其包括：针对第一射频发生器的第一组一个或多个操作循环，访问与第二射频发生器相关联的多个反射参数值；通过将所述多个反射参数值应用于射频路径的至少一部分的基于计算机的模型，根据所述多个反射参数值来计算多个负载阻抗参数值，其中所述射频路径介于所述第二射频发生器和等离子体室的电极之间；接收将由所述第二射频发生器产生的射频信号的多个调频参数；通过将所述多个负载阻抗参数值应用于所述基于计算机的模型来确定所述多个调频参数的多个值，其中确定所述多个调频参数的所述多个值以最小化所述基于计算机的模型的输入处的反射系数参数，其中所述多个调频参数的所述多个值包括所述射频信号的平均频率和相对于所述平均频率的频率变化；以及在所述第一射频发生器的第二组一个或多个操作循环期间根据所述多个调频参数的所述多个值控制所述第二射频发生器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于在kHz RF发生器的操作循环内调谐MHz RF发生器的系统和方法
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