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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司
摘要：一种确定导致基板不良的原因的方法，包括：获取基板的生产过程数据S201，所述生产过程数据包括基板的生产履历数据以及至少两个生产设备参数的参数数据；根据所述基板的类型，获取与所述基板的类型对应的所述至少两个生产设备参数的参数数据参考范围S202；基于所获取的至少两个生产设备参数的参数数据、以及所述至少两个生产设备参数的参数数据参考范围，确定所述至少两个生产设备参数中偏离其参数数据参考范围的不良生产设备参数S203。通过该方法，能够快速方便地进行导致基板不良的原因的定位。
主权项：1.一种确定导致基板不良的原因的方法，包括：获取基板的生产过程数据，所述生产过程数据包括基板的生产履历数据以及至少两个生产设备参数的参数数据；根据所述基板的类型，获取与所述基板的类型对应的所述至少两个生产设备参数的参数数据参考范围；以及基于所获取的至少两个生产设备参数的参数数据、以及所述至少两个生产设备参数的参数数据参考范围，确定所述至少两个生产设备参数中偏离其参数数据参考范围的不良生产设备参数，其中，所确定的所述至少两个生产设备参数中偏离其参数数据参考范围的不良生产设备参数的数量为至少两个，所述方法还包括：对于采用所述生产过程数据生产的多个基板，利用所述多个基板中每个基板的基板不良分布图案来生成与所述生产过程数据对应的不良分布图案，其中所述不良分布图案示出了不良点的基板坐标位置；获取至少一个参考不良分布图案；以及基于所述不良分布图案以及所述至少一个参考不良分布图案，确定各不良生产设备参数与不良的相关性排序。
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百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 北京京东方光电科技有限公司 确定不良原因的方法、电子设备、存储介质及系统
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