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申请/专利权人：SOITEC公司
摘要：本发明涉及一种生产用于将压电层转移到载体衬底140上的供体衬底的方法，所述方法包括以下步骤：提供操作衬底100，特别是硅基衬底；提供压电衬底106；在压电衬底106或操作衬底100的自由面110上沉积聚合物层104、152；将压电衬底106组装到操作衬底100上，使得聚合物层104、152夹在压电衬底106和操作衬底100之间，其中，在将压电衬底106组装到操作衬底100上的步骤之前，进行压电衬底106与聚合物层104、152接触的表面110的表面活化108的步骤。本发明还涉及一种将压电层148转移到载体衬底上的方法。
主权项：1.用于制造用于将压电层转移到支撑衬底140上的供体衬底的方法，所述方法包括以下阶段：-提供操作衬底100，特别是硅基衬底，-提供压电衬底106，-在所述压电衬底106的自由表面110上沉积聚合物层104，-将所述压电衬底106组装到操作衬底100上，使得所述聚合物层104夹在压电衬底106和操作衬底100之间，其特征在于，在将压电衬底106组装到操作衬底100上的阶段之前，进行压电衬底106与聚合物层104接触的表面110的表面活化处理108的阶段。
全文数据：
权利要求：
百度查询： SOITEC公司 用于生产用于转移压电层的供体衬底的方法和用于将压电层转移到载体衬底上的方法
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