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申请/专利权人：台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：本申请实施例提供一种光刻机光罩上下料装置，光刻机光罩上下料装置包括：支撑架、检测平台以及转移机构。支撑架用于放置光罩盒，光罩盒具有容纳腔和第一开口。检测平台包括主平台及设置于主平台的光电组件，光电组件包括位于主平台在第一方向两侧且相互感应的两个光电模块，两个光电模块出射红外光用于感应光罩底部是否脱落。转移机构用于将光罩盒由支撑架转移至检测平台，且令第一开口朝向主平台，以使光电模块能够检测到光罩底部是否从第一开口脱落。当光罩底部脱落的时候，两个光电模块出射的光线会被光罩底部阻挡，从而感应到光罩底部脱落，无需人工操作，提高光罩检测准确性，实现上下料过程中的自动化从而提高生产效率。
主权项：1.一种光刻机光罩上下料装置，其特征在于，包括：支撑架，所述支撑架上设置有光罩盒，所述光罩盒具有用于容纳所述光罩的容纳腔和与所述容纳腔连通的第一开口；检测平台，包括主平台及设置于所述主平台的光电组件，所述光电组件包括位于所述主平台在第一方向两侧且相互感应的两个光电模块；转移机构，用于将所述光罩盒由所述支撑架转移至所述检测平台，且令所述第一开口朝向所述主平台，以使所述光电模块能够检测所述光罩的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台积电(中国)有限公司 台湾积体电路制造股份有限公司 光刻机光罩上下料装置
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