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申请/专利权人：安徽工程大学
摘要：本实用新型公开了一种DMD光刻设备用硅片转移机构，其涉及DMD光刻设备技术领域，旨在解决现有的硅片转移机构只是简单的对硅片进行托举移动，在移动的过程中缺乏硅片位置稳固结构，硅片转移稳定性有待提高的问题，其技术方案要点包括移动机构，所述移动机构的移动端旋转连接有硅片移动器，所述硅片移动器的上表面上通过胶水粘贴有防静电橡胶垫，所述防静电橡胶垫的上表面上设置有多个凸起条状结构，所述硅片移动器的内部设置为中空结构，所述硅片移动器的上表面以及防静电橡胶垫的外表面上均设置有多个位置对应的吸气孔，所述硅片移动器的一端旋转连接有活动臂。达到了能稳定高效的转移硅片的效果。
主权项：1.一种DMD光刻设备用硅片转移机构，包括移动机构1，其特征在于：所述移动机构1的移动端旋转连接有硅片移动器6，所述硅片移动器6的上表面上通过胶水粘贴有防静电橡胶垫7，所述防静电橡胶垫7的上表面上设置有多个凸起条状结构，所述硅片移动器6的内部设置为中空结构，所述硅片移动器6的上表面以及防静电橡胶垫7的外表面上均设置有多个位置对应的吸气孔8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽工程大学 一种DMD光刻设备用硅片转移机构
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