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一种具有辅助耗尽结构的氧化镓MISFET器件 

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申请/专利权人:湖北九峰山实验室

摘要:本实用新型提供一种具有辅助耗尽结构的氧化镓MISFET器件包括:衬底、外延层、栅极、辅助耗尽区、电流阻挡层及掺杂接触层;外延层、电流阻挡层和掺杂接触层依次叠加设于衬底上;外延层、电流阻挡层和掺杂接触层的中部设有凹槽,辅助耗尽区设于凹槽的底部、且位于外延层的上表面;栅极设于凹槽的内壁侧和辅助耗尽区的上侧。该具有辅助耗尽结构的氧化镓MISFET器件通过在栅结构下方引入辅助耗尽区,利用辅助耗尽区与漏极电压在N型轻掺杂漂移形成的扩展耗尽区作为耐压结构耐受器件关态电压,通过这种方式,将原本降落在电流阻挡层中的电压转移在耗尽区中,改善了器件击穿电压。

主权项:1.一种具有辅助耗尽结构的氧化镓MISFET器件,其特征在于,包括:衬底、外延层、栅极、辅助耗尽区、电流阻挡层及掺杂接触层;所述外延层、所述电流阻挡层和所述掺杂接触层依次叠加设于所述衬底上;所述外延层、所述电流阻挡层和所述掺杂接触层的中部设有凹槽,所述辅助耗尽区设于所述凹槽的底部、且位于所述外延层的上表面;所述栅极设于所述凹槽的内壁侧和所述辅助耗尽区的上侧。

全文数据:

权利要求:

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