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申请/专利权人：天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
摘要：本发明公开了一种高硬度、低摩擦系数的VC纳米复合涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。本发明采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积VC纳米复合涂层，其中：靶材选取金属V靶，沉积VC纳米复合涂层时，开启V靶并通入Ar和C2H2，通入Ar的流量为120～150sccm，通入C2H2流量为5～30sccm，气体总流量130～180sccm。本发明通过优化VC涂层中的C含量，使所制备涂层中包含fcc‑VC晶相和金属V的纳米复合结构，且VC相沿111晶面择优生长，从而获得兼具高硬度、低摩擦系数的涂层。
主权项：1.一种高硬度、低摩擦系数的VC纳米复合涂层的制备方法，其特征在于：该方法是采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积VC纳米复合涂层，其中：靶材选取金属V靶，沉积VC纳米复合涂层时，开启V靶并通入Ar和C2H2，通入Ar的流量为120～150sccm，通入C2H2流量为10～30sccm，气体总流量130～180sccm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) 一种高硬度、低摩擦系数的VC纳米复合涂层及其制备方法
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